| 加工定制：否 | 品牌：KELK | 型号：CHE-36-3-S |
| 用途：半导体生产工艺及电镀工艺等 |
化学药液循环加热器CHE-36-3-S
无金属离子溶出污染，在线加热型化学药液加热设备
日本KELK公司开发生产的化学药液循环加热设备，是为RCA清洗工艺，温法刻蚀工艺中使用的各种强腐蚀性化学液体的高温加热设计，可以实现短时间内的高精度的在线加热及温度控制。液体接触部分采用氟化树脂材料及高纯度玻璃碳材料，防止杂质污染，可以对强酸，强碱及有机溶液进行加热。
产品特点：
1. 加热部分采用高纯度玻璃碳材料，无金属离子溶出，晶圆处理时不需要贴表面保护膜，减少工艺，提率。独自开发的O型圈构造，对于酸，碱，及有机溶液均可应对。
2.自带检漏，温度异常检出功能，温度开关内置，可自动关停，达到使用。
主要用途：
1. 半导体加工艺中的晶圆处理的各种药液的温度管理
高分子材料去除溶液
RCA清洗液
刻蚀液
显影液
2. 电镀溶液，各种表面处理液
酸性药液（氟酸，硝酸等）
碱性药液（NaOH、KOH等）
有机溶液
| 加热机 | CHE-36-3-S |
| 控制器 | AIC-7-CH6-S |
| 加热方式 | 可交换式电阻加热器加热，处理槽与在线配管直接循环 |
| 温度设定范围 | 25℃～80℃ 根据实际环境及药液种类而定 |
| 温度控制精度 | ±0.5℃（设定温度在50～80℃时） |
| 加热器耗电量 | 6KW |
| 温度控制方式 | PID控制，自动调谐功能 |
| 温度设定方式 | 上下键设定 |
| 温度表示方式 | 4位数字表示（小0.1℃） |
| 循环系统接液材质 | 氟化树脂，导热接液面采用高纯度玻璃碳材料 |
| 循环系统容许内压 | 0.3MPa |
| 循环流量 | 15（?6?1/min）以上 |
| 功能 | 自动诊断功能，检出后电力输出停止，报警， |
| 外部通信 | RS232C |
| 其它功能 | |
| 加热机外形尺寸 | Ｗ380×D350×H325 约38kg |
| 控制器外型尺寸 | Ｗ145×D235×H213 约5.2kg |
| 循环系统配管径 | PFA配管（外径3/4″× 内径5/8″） |
| 电源（50/60Hz） | ＡＣ单相200Ｖ/30Ａ |
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