| 加工定制：否 | 品牌：KELK | 型号：NES-333-7/NES-363-7/NES-3123-7/EX-410-R |
| 用途：半导体 |
高腐蚀性化学液体用制冷加热设备
NES-333-7/NES-363-7/NES-3123-7/EX-410-R
产品主要特点：
1. 液体的冷却加热部件采用高纯度玻璃碳材料，无金属溶出，对被加工材料，晶圆处理中不需要对晶圆表面做保护膜处理。
2. O型圈不与液体直接发生接触，不需要根据酸性液体，碱性液体的性质对O型圈进行选型选材料。
3.电子元器件进行冷热控温，室温附近可以实现高精度控制。
4.采用***保护规格IP31。
5.附带药液及冷却水的泄露传感器,温度异常自动感知功能。
主要用途：
1.半导体工艺制造中的高腐蚀性药液的温度管理，恒温循环。
湿法刻蚀用药液，RCA清洗液，曝光显影液
2. 其它领域的各种强腐蚀药液的温度管理
电镀溶液，各种表面处理用的药液。
*含臭氧的药液无法使用
产品参数规格：
| 冷却加热机 | NES-333-7 | NES-363-7 | NES-3123-7 | EX-410-R |
| 控制器 | GRT-63-R-UL | GRT-66-R-UL | GRT-612-R-UL | RX-610-R |
| 冷却加热方式 | 水冷式电子冷热方式，处理槽与在线配管直接循环方式 | |||
| 温度设定范围 | 半导体用途的药液15℃～50℃，药液种类，循环系统的热收支平衡为前提 | |||
| 温度控制精度 | ±0.1℃（根据使用条件不同） | |||
| 冷却能力 | 230W（200kcal/h) | 450W（390kcal/h) | 810W（700kcal/h) | 870W（750kcal/h) |
| 加热能力 | 580W（500kcal/h) | 1160W（1000kcal/h) | 1980W（1700kcal/h) | 2500W（2150kcal/h) |
| 温度控制方式 | 数字演算PID控制，自动调谐功能 | |||
| 温度传感器 | 白金测温电阻（Pt100Ω)内置 | 白金测温电阻（Pt100Ω)客户自己准备 | ||
| 温度设定方式 | 上下键设定 | |||
| 温度表示方式 | 4列数字表示（小0.1℃） | |||
| 循环系统接液材质 | 氟化树脂，导热接液面采用高纯度玻璃碳材料 | |||
| 循环系统压力损失 （20l/min时） | 0.01MPa（0.1kgf/cm2） | 0.01MPa（0.1kgf/cm2） | 0.02MPa（0.2kgf/cm2） | 0.003MPa（0.03kgf/cm2） |
| 循环系统容许内压 | 0.25MPa | 0.3MPa | ||
| 循环流量 | 15（??/min）以上（容许内压以内） | 25（??/min）以上（容许内压以内） | ||
| 放热水容许压力 | 0.5MPa | |||
| 放热水温度范围 | 10～30℃ | |||
| 放热水流量范围 | 3～5??/min | 4～6??/min | 5～6??/min | 5～6??/min |
| 功能 | 自动诊断功能，检出后电力输出停止，报警， | |||
| 其它功能 | 外部通信RS-232C，外部传感器PV2可追加 | 外部通信RS-232C，远程ON/OFF功能 | ||
| 冷却加热机外形尺寸 | W136×D300×H226 約10.5kg | W156×D300×H226 約12.5kg | W280×D300×H226 約21kg | W180×D475×H230 約28kg |
| 控制器外型尺寸 | W150×D400×H180 約7kg | W185×D420×H267 約12kg | W220×D405×H250 約18kg | W160×D445×H290 約15kg |
| 循环系统配管径 | PFA配管（外径3/4″× 内径5/8″） | PFA配管（外径25mm× 内径22mm | ||
| 电源（50/60Hz） | AC200～240V/8A | AC200～240V/8.*** | AC200～240V/17A | |
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