| 加工定制：否 | 品牌：KELK | 型号：AIH-33/AIH-63/AIH-93/AIH-123 |
| 用途：强酸加热 | 别名：Clean ＆ Safe Heater |
高温型精密化学溶液加热设备 CS HEATERAIH-33/AIH-63/AIH-93/AIH-123
洁净，，小型，，在线型化学液体加热设备
Clean ＆ Safe Heater是半导体制造工艺中的清洗工艺，光刻胶剥离工艺的各种药液的高温加热，可实现短时间，高精度，高温加热控制，同时机射设计小巧，可以实现在线加热。液体接触部分采用高纯度石英玻璃，同时采用大功率卤素灯做近红外线放射加热，降低了杂质混入的问题，实现高温加热。
产品特点：
1. 洁净，采用高纯透明石英二重管构造，卤素灯做近红外线放射加热，液体接触部分的玻璃材料温度较低，可以很好的控制杂质混入，加热器破损也不影响被加热液体。
2.，采用专用控制器组合，各种功能附带，同时有报警，使用更。
3.小型，小型化设计，可以内置于湿法工艺等各种设备内部。
4.加热，加热效率***，能量利用，节能。
5.加热器交换方便，卤素灯加热器安装交换非常方便。
6.易操作，PID控制可实现高精度的温度控制及各种操作，同时有警报表示，外部能信等功能。
产品的主要用途：
1. LSI等大规模集成电路生产制造时的高温溶液加热
扩散工艺前的清洗液（氨水双氧水，盐酸双氧水）
氮化膜的去除液（磷酸）
光刻胶剥离液（硫酸双氧水）
2.其它领域的各种药液的加热控制
镀金用的溶液，前处理液，清洗液等。
产品主要规格：
| 加热机 | AIH-33 | AIH-63 | AIH-93 | AIH-123 |
| 控制器 | AIC-7-3 | AIC-7-6 | AIC-7-9 | AIC-7-12 |
| 冷却加热方式 | 近红外线加热方式加热，处理槽与在线配管直接循环方式 | |||
| 加热器电量 | 3KW | 6KW | 9KW | 12KW |
| 温度设定范围 | 50～170℃（但是要根据药液种类，循环系统的全热容量，热收支平衡等的条件而定） | |||
| 温度控制精度 | ±0.3℃（根据使用环境采用合适的PID值） | |||
| 温度控制方式 | PID控制 | |||
| 温度设定方式 | 上下键控制 | |||
| 温度表示方式 | 4位数字表示（少0.1℃） | |||
| 加热器 | 卤素灯加热，不与液体直接发生接触 | |||
| 加热部接触液体材质 | 高纯度石英 | |||
| 配管径 | 20mm | |||
| 循环系统容许内压 | 0.5MPa（5kgf/cm2） | |||
| 功能 | 液温过热防止功能，空烧防止功能，液体泄漏应对检出功能14项，检出后自动停机功能，报警功能， | |||
| 外部通信功能 | RS-232C | |||
| 冷却加热机外形尺寸 | W150×D450×H165 约5.5kg | W190×D450×H200 约7.7kg | W210×D470×H220 约10.0kg | W250×D470×H260 约13.0kg |
| 控制器外型尺寸 | W145×D235×H213 约5.2kg | W176×D275×H250 约7.2kg | ||
| 电源（50/60Hz） | AC200/208V 単相16/17A | AC200/208V 単相32/33A | AC200/208V 単相48/49A | AC200/208V 単相64/6*** |
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